MESFET并不是MOSFET的筆誤，而是另一種功率JFET，它是“Metal-Semiconductor Field-Effect Transistor”的縮寫，大致含義是“金屬—半導體場效應管”。
MOSFET采用橫向雙擴散結(jié)構(gòu)(IDMOS)來兼顧工作頻率與功率的要求，MESFET則采用肖特基勢壘柵極(Schottky Gate FET)結(jié)構(gòu)（圖1.24）。就PN結(jié)的特性而言，與肖特基二極管并無本質(zhì)上的區(qū)別。眾所周知，肖特基勢壘的基本結(jié)構(gòu)就是“Metal-Semiconductor”（金屬-半導體），MESFET也是由此得名。雖然都是橫向溝道，但是MESFET的溝道更短。
MESFET的肖特基勢壘柵極通常采用的材料為GaAs(Gallium Arsenide，砷化鎵)，新一代半導體材料InP（Indium Phosphide，磷化銦）和SiC( SiliconCarbide,碳化硅)也開始有應用。
從工作模式來看，MESFET也有增強型與耗盡型之分，這一點與MOSFET是相近的，其實，它的肖特基勢壘柵極與MOS柵極也是有相似之處的。
MESFET主要作為功率微波器件用在“固態(tài)”發(fā)射機上，工作頻率可達45GHz以上，比JFET和MOSFET都要高。